高端型程控伺服匀胶机AC200-PE

一、产品特点：

1.HDPE内腔，耐溶剂PC透明盖；

2.工业机设计，PLC控制，7寸全彩触屏操作；

3.高精度伺服电机驱动，高精度、高重复性；

4.可嵌入式安装在手套箱内，降低操作高度；

5.可添加背部清洗和去边胶功能，满足工业机应用；

6.可添加防溅罩式清洗和显影功能，满足定制需要；

7.可处理基片尺寸范围：碎片至8寸圆形底物。

二、产品参数：

1.转速范围：20-10000rpm；

2.转速可调精度：1rpm；

3.转速精准度：±0.1rpm；

4.加速度可控范围：20-50000rpm/s

5.单步时长：3000s；

6.时间分辨率：0.1s；

7.工艺时间设定：0-3000 sec/step；

8.时间设置精度：0.1 sec；

9.重量：20Kg；

10.均匀性数据

4寸晶圆片内±0.49% 片间±0.55%膜厚：500nm胶液：RZJ304稀释(<10CP)

6寸晶圆片内±0.76% 片间±0.91%膜厚：1300nm胶液：AZ1500(20CP)

8寸晶圆片内±0.92% 片间±1.10%膜厚：1350nm胶液：AZ1500(20CP)

11.可编程100组100步程序，更多可扩展；

12.带四路自动点胶端口，可升级多路自动点胶功能；

13.标配10mm、25mm、2英寸三种直径规格真空载物盘。