灵巧型匀胶机EZ6-S

一、产品特点

1.工业级BLDC电机与单片机控制；

2.7寸全彩触摸屏人机界面操作；

3.超高分子材料内腔，不锈钢外壳；

4.特殊设计的防进胶、防堵胶功能；

5.可升级一路计量自动点胶功能；

6.带真空开关和盖子开关安全互锁功能；

7.推荐旋涂底物尺寸：6寸圆形底物。

二、产品参数

1.转速范围：100-12000rpm；

2.转速分辨率：1rpm；

3.加速度可调范围：100-30000rpm/s；

4.单步步长：3000s；

5.时间分辨率：0.1s；

6.重量：12Kg；

7.单步或多步运行可选，可编程10组10步程序；

8.AC110V和AC220V两款可选，中英文界面可选；

9.标配10mm、25mm、2英寸三种直径规格真空载物盘；

10.均匀性数据

4寸晶圆片内±0.53% 片间±1.09%膜厚：1350nm胶液：AZ1500(20CP)

6寸晶圆片内±1.20% 片间±1.89%膜厚：4400nm胶液：SPR220-4.5(123CP)