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三温区PECVD-1200℃
三温区1200C-PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热。
三温区PECVD-1200℃
智能型增强化学气相沉积PECVD系统-1200℃
智能增强化学气相沉积PECVD-500A-D是将所有的控制部分集为一体且目前最新型的一款设备。
智能型增强化学气相沉积PECVD系统-1200℃
智能型增强化学气相沉积PECVD系统-D210
该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。
智能型增强化学气相沉积PECVD系统-D210
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