等离子清洗机PT40K-BE

一、产品特点：

1.满足8寸以下基片使用，适用性广；

2.快速清洗，快速达成需要的表面亲水性；

3.应用广泛，且对处理产品无损伤，不改变材料特性；

4.无环境污染、无化学品消耗、机台本身不产生污染物。

二、产品参数：

1.射频电源：40KHz；

2.射频功率：0-500W(**1000W)；

3.匹配器：自动匹配；

4.气体控制：单浮子流量计；

5.舱体尺寸：226mm*126mm*224mm；

6.舱体材质：铝合金；

7.舱体容积：6.4L；

8.有效处理尺寸：L200×W200；

9.时间设定：300秒；

10.真空泵：抽速4m³/h；

11.气体稳定时间：30秒；

12.真空度：<10pa。