等离子清洗机PT13M-BE

一、产品特点：

1.可处理形状复杂的材料；

2.无环境污染、无化学品消耗；

3.低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料；

4.满足8寸以下基片使用，一键式操控，适用于科研院所等各种实验环境。

二、产品参数：

1.射频电源：13.56MHz；

2.射频功率：0-200W(最大300W)；

3.匹配器：自动匹配；

4.气体控制：单浮子流量计；

5.舱体尺寸：226mm*126mm*224mm；

6.舱体材质：铝合金；

7.舱体容积：6.4L；

8.有效处理尺寸：L200×W200；

9.时间设定：999秒；

10.真空泵：抽速4m³/h；

11.气体稳定时间：40秒；

12.真空度：<10pa。