输入电源

单相，220V  50Hz

额定功率

3KW

**温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定，内置PLC控制程序

可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

控温精度

±1℃

炉膛有效尺寸

Ф60*1650mm

加热元件

电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

热电偶

K型热电偶

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

PE射频电源

该CVD系统可配备PE射频电源，将CVD系统升级为PECVD。当参与反应的气氛进入炉管在射频电源的作用下产生离子体，可使反应更加充分。同时等离子体起增强的作用，从而很大程度上优化实验的工艺条件。

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

500W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

五路质子流量控制系统

供气系统是一种可控制4种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成，触摸屏控制。

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂)

氩气：1000sccm，氢气：300sccm，甲烷：100sccm，氮气：500sccm，氧气：100sccm

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

**压力

3MPa

接口

Φ6或者1/4可选

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

真空机组

真空机组，内部安装双极旋片机械泵1台，电容真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达0.5Pa。

工作电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

16m³/h

极限真空

0.5Pa

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

电容真空计

ZDM-I(带通讯），可以和触摸屏通讯上

真空规管测量范围可选5-5000pa

不需因测量气体种类不同而需要系数转换

具有较高的**度和重复性，响应时间较短

压力控制系统

主要部件

蝶阀、压力控制器、电容真空计组成

作用

根据实验要求，在出气端和泵之间增加蝶阀（调节阀）和真空计

真空计可检测管内压力，通过 PLC 调节蝶阀（调节阀）开启的大小

以达到控制管内压力不变

压力范围

100~100000Pa

控制精度

测量值±5%