ZF350有机无机联合制备镀膜仪

设备目的：

进行有机无机配合物的镀膜（主要指有机）。

技术要求：

1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为Φ350×450mm，不锈钢材料，圆柱形前开门结构，内带有防污板。

2、抽气系统：采用分子泵+机械泵抽气系统；

2.1、真空度：镀膜室的极限真空≤6×10-4Pa；

2.2、系统漏率≤1×10-7PaL/s。

3、蒸发源系统：

3.1、有机源蒸发源一个，容积5ml，一台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，功率0.5Kw；

3.2、挡板：蒸发源挡板采用手动磁力控制方式，控制其开启；

3.3、安装：蒸发源安装在真空室的下底上。

4、样品架系统：

4.1、样品架可放置大小为Φ100mm的样品，载玻片；

4.2、样品架可旋转，旋转速度为：0～30转/分；

4.3、安装：样品安装在真空室的上盖上，蒸发源安装在真空室的下盖上，向上蒸发镀膜，蒸发源都带有挡板装置。

5、样品在镀膜过程中，带有烘烤加热功能，烘烤加热温度为：室温～400℃，测温控温。

6、设备带有断水断电连锁保护**装置、防误操作保护**装置。

实施方案：

该设备主要由真空抽气及测量系统、镀膜室系统、蒸发源及控制系统、样品台系统、辅助系统、电控系统等组成。