化学气相沉积管式炉CVD-1400℃

一、产品描述

【产品名称】1400℃-CVD化学气相沉积管式炉

【炉管尺寸】φ25--φ120mm

【加热区】300mm 

【额定温度】1400℃

【控温精度】±1℃ 

【应用领域】1400℃-CVD化学气相沉积管式炉是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。

系列产品主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料，炉管材质优良，炉管两端不锈钢法兰密封，可在真空下工作，法兰上有进气口和出气口，可通入保护气体，精密针型阀可调节进气流量。

二、产品特点

1、 炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料，新型拼装结构，高温不变形、坚固耐用；

2、 发热体采用硅碳棒，可承受负荷大，稳定且使用寿命长；

3、 炉管采用石英管，两端不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸，方便进出被烧结样品；

4、 升温速度快，从室温升到1400摄氏度，一般需要50分钟；

5、 采用智能PID温控仪表，控温精度高，冲温小，具有温度补偿和温度校正功能，精度为±1℃；

6、 控温仪表具有程序功能，可设定升温曲线，可编程序30段；

7、 一体式结构，出色的外观设计，美观、大方；

8、 电子元器件均采用德力西产品，带有漏电保护功能；

9、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号，并自动完成保护动作；

10、 当仪表程序设定完成后，只要按下运行按钮，接下来的工作会自动完成；

11、 可选配大屏幕无纸记录仪，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印；

12、可选配气体质量流量计，通入气体可数字精确控制。