智能型滑轨式CVD系统1200℃

一、设备简介：

该设备主要分为五大部分：加热系统，真空系统，气体控制供给系统，自动控制移动系统，控制软件系统组成。炉膛为440mm温区炉膛，配K型热电偶，单点控温；加热炉置于滑轨上，可手动在规定的范围内任意滑动到想要的位置并用限位器固定住；气路系统采用4路流量计控制，经由不锈钢混气罐混合，再进入左端进气法兰；左端法兰端盖上预留1路进气口，内部有不锈钢导气管，可将气体导入加热区位置。该设备适用于高校研究所以及研发型企业使用。

二、设备参数：